低吸收耐激光照射石英材料(VAD)
光刻机
光刻机载台工装
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小原OHARA CCZ微晶玻璃
小原OHARA Sk1310熔融石英
石英
碳化硅SiC反射材料
肖特SCHOTT ZERODUR微晶玻璃
超声波诱导石英材料
透镜
高精密石英材料