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光刻机用透镜

高精度、高价值的光刻透镜:投影物镜是光刻机中最昂贵、最复杂的核心部件之一。光刻机中光学元件主要应用在曝光、照明、能量探测,光路系统等场景。光刻机曝光系统包括照明系统和投影物镜。(1)高精度:为了精确成像,严格控制像差,光刻机透镜平整度和光洁度要求度极高(2)高价值:超高精密的光学镜片的生产,需要精度最高的打磨机和最细的镜头磨料。
尺寸:
状态:
数量:
  • RTK010

  • 赛思

 该镜头为石英材质, A面内径8.1cm,外径11.6cm。B面内径9.8cm,外径11.2,侧面厚度6.2cm, 应用于光刻机精密部件。


光刻机的工作原理主要基于光学投影技术。它通过将光源经过特殊设计的镜头系统进行较高的聚焦,将光线投射到硅片表面上。硅片上涂有光刻胶,而光刻胶的曝光和显影过程将形成所需的线路图案。为了实现更高的分辨率和更高的图案转移,光刻机采用了许多关键技术。镜头系统由多个透镜组成,用于将光线聚焦到硅片上形成图案。高分辨率的镜头系统需要具备较小的像差、较大的视场和较高的光学透过率。近年来,随着纳米技术的发展,透射式光刻逐渐被曝光式光刻替代,采用了更加复杂的镜头系统。

光刻机主要应用于半导体,生物医学,光子学,纳米器件

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