面向光刻机用的高等级石英材料

超声波诱导石英材料均质化技术：高均匀性、低应力。

创新点：基于气相沉积与振动环境结合，实现高精密石英材料的去应力处理，最新测试结果表明Ф200口径内，应力双折射可达0.9nm/cm，折射率均匀性<0.9ppm。

石英材料具备优良的理化性质是高端技术领域的必需关键材料：

•透光性好；

•低膨胀系数；

•耐高温；

•化学稳定性好；

•电绝缘性好；

应用领域：

•半导体领域：光掩模基板、蚀刻环、钟罩；

•光伏领域：石英坩埚、扩散管；

•激光领域：透镜、反射镜、保护镜；

•光源领域：紫外光源石英管；

•光通讯领域：光纤预制棒；

•航空航天领域：窗口片、天文望远镜；