光刻机载台工装

光刻是指通过一系列操作步骤，将掩膜上的微结构图案转移至涂覆有光刻胶晶片上面的一种微机电加工工艺。微晶玻璃是一种低热膨胀玻璃，常用于对精度要求极高的高科技应用，例如光刻机。

微晶玻璃凭借其独特的特性可以最大限度地减少材料几何形状和尺寸的变化，保持精度的一致性，能有效解决在光刻曝光过程中在晶圆表面或者支柱上产生颗粒杂质对晶圆表面光刻曝光的影响。

它还具有非凡的可加工性，可制成各种尺寸和形状，并具有高度均匀的性能。